近日,据上交所公告,东方晶源披露科创板IPO审核问询函的回复以及更新申报稿。
在前道量检测设备高度依赖进口,供应链国产替代持续提速的背景下,国内集成电路良率管理领军企业东方晶源,聚焦电子束量检测设备与计算光刻软件两大核心赛道,以多项核心技术和经过客户验证的产线,助力国产电子束量检测装备从技术突破向规模化产业应用延伸。
东方晶源总部位于北京亦庄,是全球极少数将电子束量检测设备与计算光刻软件有机结合的公司。自2014年成立以来,东方晶源始终以“解国家之忧,创技术之先”为初心使命,聚焦量检测设备、制造类EDA两大高壁垒、低国产化赛道,持续夯实技术储备,打造出不断迭代的硬核产品矩阵。
据招股书数据显示,截至2026年6月30日,东方晶源拥有260项授权发明专利(境内196项、境外64项),并先后承担1项国家科技重大专项(02专项)、2项02专项课题/子课题、4项科技攻关项目、1项工信部工业强基项目等十余项国家/地方科研项目。同时构建起完整的自主技术体系,涵盖电子光学、真空系统、高速扫描成像、缺陷分类算法、OPC、ILT、光刻仿真与良率数据分析。
在产品矩阵上,硬件端覆盖 CD-SEM、EBI、DR-SEM、HV-SEM 四款前道电子束量检测设备,软件端以PanGen计算光刻平台为中枢,形成“硬件赋能软件、软件优化硬件”的闭环。另有自研电子光学系统(EOS)实现关键突破,EBI 填补国内空白,软件端PanGen计算光刻工具已在14nm及以上逻辑工艺和1x nm及以上存储工艺实现量产,同时掌握7nm/5nm先进节点所需的全部关键技术。
东方晶源产品的成熟度与产线适配能力目前已经过头部客户的严苛验证,具备充足的增长动能。根据招股书披露,东方晶源已通过客户G长期验证,成为其重要国产供应商,2026年5至6月取得1.53亿元(不含税)批量订单;截至9月28日,电子束量检测装备累计出机超百台,EBI量产五年以上持续取得新客户订单。
同时,东方晶源正在冲刺科创板IPO,并于9月29日披露了对上交所审核问询函的回复及更新申报稿,本次IPO拟募资25亿元,将投向高端半导体良率管理设备、EDA工具研发及产业化项目。
随着IPO进程的进一步推动,东方晶源有望借助资本市场实现可持续增长,进一步缩小与国际龙头的差距,为我国集成电路全链条自主可控贡献更坚实的装备与软件支撑。
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